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ब्रांड नाम: | Suneast |
मॉडल संख्या: | एसईओ-100एन |
एमओक्यू: | ≥1 पीसी |
मूल्य: | विनिमय योग्य |
पैकेजिंग विवरण: | प्लाईवुड टोकरा |
भुगतान की शर्तें: | टी/टी |
उच्च क्षमता पीआईडी समायोजन अर्धचालक ओवन एसईओ श्रृंखला हवा की tightness
नाइट्रोजन से भरे अर्धचालक ओवन में मजबूत सार्वभौमिकता, उच्च स्थिरता और उच्च प्रदर्शन है। यह उच्च क्षमता क्षैतिज वायु पुनर्चक्रण प्रणाली को अपनाता है,विशेष कक्ष संरचना और सीलिंग प्रौद्योगिकी को अपनाता है, सेमीकंडक्टर उत्पादों की उच्च प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए उत्कृष्ट हवा की tightness और तापमान एकरूपता के साथ। यह ओवन सेमीकंडक्टर वेफर्स को मजबूत करने के लिए उपयुक्त है,आईसी पैकेज (तामा सब्सट्रेट), चांदी का जेल, सिलिका जेल, एपॉक्सी राल), कांच का सब्सट्रेट और अन्य उत्पाद।
मूल प्रौद्योगिकीः
01 उच्च प्रदर्शन तापमान एकरूपता प्राप्त करने के लिए उच्च क्षमता क्षैतिज हवा पुनर्चक्रण गर्म हवा प्रणाली
02 कक्ष पूरी तरह से सील डिजाइन है, स्टेनलेस स्टील प्लेट को अपनाता है, अच्छी हवा की tightness के साथ, नाइट्रोजन की बचत
03 उच्च शक्ति उच्च तापमान प्रतिरोधी लंबी अक्ष मोटर, और बड़े आकार के टरबाइन ब्लेड, जो लंबे समय तक उच्च तापमान वातावरण में स्थिर रूप से काम कर सकते हैं
04 हीटिंग दर को नियंत्रित किया जा सकता है, प्रक्रिया प्रोफ़ाइल सेटिंग के लिए एक कुंजी ऑपरेशन, शीतलन के लिए शीतलन प्रणाली के साथ, जो प्रभावी रूप से उत्पादन दक्षता में सुधार कर सकता है
05 उच्च परिशुद्धता तापमान नियंत्रक, पीआईडी समायोजन, नियंत्रण सटीकता 0.5°C तक पहुंच सकती है, विश्वसनीय नियंत्रण, सुरक्षित उपयोग
06 अर्धचालक धूल मुक्त कार्यशालाओं और उत्पादों की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कुशल स्वच्छ उपचार, हजार-ग्रेड स्वच्छ कक्ष उम्र बढ़ने का परीक्षण
07 कम ऑक्सीजन सामग्री नियंत्रण, वास्तविक समय की निगरानी, दो-चैनल विश्लेषण प्रणाली ऑक्सीजन सामग्री को 50PPM के भीतर नियंत्रित किया जा सकता है
उत्पाद की विशेषताएंः
अर्धचालक ओवन कक्ष संरचना
ऊपरी और निचले बक्से गर्म वायु परिसंचरण प्रणाली से लैस हैं, हवा की गति और मात्रा को समायोजित किया जा सकता है, और विभिन्न प्रक्रिया मापदंडों को स्वतंत्र रूप से संचालित किया जा सकता है।भट्ठी कक्ष उच्च गुणवत्ता वाले स्टेनलेस स्टील से बना हैस्थान के उपयोग में सुधार के लिए भट्ठी में स्तरित ब्रैकेट लगाए गए हैं।
अर्धचालक ओवन नाइट्रोजन प्रणाली
कैमरे के अंदर नाइट्रोजन भरना, स्वतंत्र समायोजन कार्य के साथ बहु प्रवाह मीटर से सुसज्जित, नाइट्रोजन का उचित उपयोग, संतुलित वितरण सुनिश्चित करने के लिए।बहु-चैनल ऑक्सीजन विश्लेषक के साथ, ऊपरी और निचले कक्षों में ऑक्सीजन सामग्री के मूल्य की वास्तविक समय की निगरानी को अलग से नियंत्रित किया जा सकता है, एक कक्ष की ऑक्सीजन सामग्री को 500PPM के भीतर नियंत्रित किया जा सकता है (विकल्पः100 पीपीएम के भीतर).
अर्धचालक ओवन शीतलन प्रणाली
जल शीतलन प्रणाली को अपनाया जाता है। पंख रेडिएटर ब्लास्ट वाटर कूलिंग, जब भट्ठी में तापमान ठंडा हो रहा है, तो ब्लोअर पंख रेडिएटर के माध्यम से तेजी से गर्मी का आदान-प्रदान करेगा,यह ठंडा होने का समय बहुत कम कर देता हैअद्वितीय शीतलन प्रणाली, उच्च तापमान पर तत्काल शीतलन भाप विस्तार से बचें, जो प्रभावी रूप से उत्पाद की गुणवत्ता की रक्षा करता है।
अर्धचालक ओवन सुरक्षा सुरक्षा प्रणाली
अधिक तापमान संरक्षण के साथ (स्टूडियो तापमान को रोकने के लिए बहुत अधिक है और उत्पाद की रक्षा), जब अधिक तापमान की स्थिति होती है, यह तुरंत बिजली काट देगा,साथ ही, कर्मचारियों को याद दिलाने के लिए एक अलार्म है, उत्पादों के लिए बेहतर सुरक्षा; अत्यधिक ऑक्सीजन सामग्री के नियंत्रण और सुरक्षा; नाइट्रोजन निम्न दबाव अलार्म सुरक्षा;ऊपरी और निचले बक्से इलेक्ट्रॉनिक सुरक्षा ताले से लैस हैं, और उपकरण में आपातकालीन स्टॉप स्विच है।
अर्धचालक ओवन स्पष्टता परीक्षण
परीक्षण के बाद, 0.5μm कणों की एकाग्रता ≤35200 है, जो उच्च-स्वच्छता हजार वर्ग स्वच्छ धूल मुक्त कार्यशाला की उत्पादन आवश्यकताओं को पूरा करती है।
अर्धचालक ओवन तापमान प्रोफाइल परीक्षण
उच्च परिशुद्धता तापमान नियंत्रक, पीआईडी विनियमन, उच्च क्षमता क्षैतिज वायु परिसंचरण गर्म हवा प्रणाली, जो उच्च प्रदर्शन तापमान एकरूपता प्राप्त कर सकते हैं।
उत्पाद पैरामीटरः
मॉडल संख्या | एसईओ-100एन |
बॉक्स का भाग | |
बॉक्स का आयाम | 700 ((L) * 550 ((W) * 600 * 2) ((H) मिमी |
बक्से की संख्या और कार्य मोड |
दो बक्से, प्रत्येक बॉक्स स्वतंत्र रूप से चल सकता है |
गर्म हवा प्रणाली | समायोज्य हवा की गति और मात्रा के साथ गर्म हवा परिसंचरण प्रणाली |
शीतलन प्रणाली | ग्राहक कार्यशाला शीतलन पानी के अनुसार पानी शीतलन परिसंचरण प्रणाली |
नाइट्रोजन प्रणाली | वास्तविक समय में ऑक्सीजन सामग्री प्रदर्शित करने के लिए प्रवाह मीटर और ऑक्सीजन विश्लेषक के साथ |
आंतरिक विनिर्देश | स्टेनलेस स्टील के समर्थन अलमारियों से लैस, अलमारियों के बीच समायोज्य दूरी के साथ |
नियंत्रण प्रणाली | |
तापमान संचालन सीमा | कमरे का तापमान+10°C~250°C |
तापमान नियंत्रण मोड | पीआईडी बंद-लूप नियंत्रण+एसएसआर ड्राइव |
नियंत्रण प्रणाली | पीसी+पीएलसी विद्युत नियंत्रण प्रणाली, विंडोज ऑपरेटिंग इंटरफ़ेस |
तापमान सटीकता | ±0.5°C |
तापमान एकरूपता | ±1.5%°C (बिना भार के) |
गर्म करने का समय | ≤15 मिनट ((200°C नो लोड) |
शीतलन दर | 2-5°C/मिनट |
हीटिंग पावर | 10KW*2 |
ऑक्सीजन सामग्री नियंत्रण | ≤500 पीपीएम (विकल्पः≤50 पीपीएम) |
कामकाजी वोल्टेज | AC3Ø 5W 380V 50/60HZ |
कुल शक्ति | 21 किलोवाट |
एमईएस संचार प्रोटोकॉल | मानक |
स्वच्छता वर्ग | वर्ग 1000 |
मशीन पैरामीटर | |
आयाम ((LxWxH) | 1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) मिमी |
वजन | 500-800 किलोग्राम |
रंग |
चमकदार झुर्रियों वाला सफेद |
सूचनाएं:
1गैस स्रोत की आवश्यकताएंः नाइट्रोजन कार्य दबाव (उपयोग के दौरान दबाव) > 0.5-0.8Mpa, नाइट्रोजन शुद्धता 99.999%.
2बिजली की आवश्यकताएं:
तीन चरण पांच तारः वोल्टेज 380V, आवृत्ति 50/60HZ;
2वायर व्यास 25mm2 से अधिक, रिसाव सुरक्षा स्विच 100A, रिसाव सुरक्षा स्विच रिसाव क्षमता 150-200mA।
3जमीन के दबाव की आवश्यकताः 1000 किलोग्राम/मी2.
4.बाहरी वेंटिलेशन आवश्यकताएंः 2-Ø38 मिमी बाहरी व्यास वाली वायु नलिका, वेंटिलेशन मात्रा 2*5M3/मिनट;
5पर्यावरणीय आवश्यकताएं: परिवेश तापमान 5-40°C और सापेक्ष आर्द्रता 20-95% के बीच होनी चाहिए।
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ब्रांड नाम: | Suneast |
मॉडल संख्या: | एसईओ-100एन |
एमओक्यू: | ≥1 पीसी |
मूल्य: | विनिमय योग्य |
पैकेजिंग विवरण: | प्लाईवुड टोकरा |
भुगतान की शर्तें: | टी/टी |
उच्च क्षमता पीआईडी समायोजन अर्धचालक ओवन एसईओ श्रृंखला हवा की tightness
नाइट्रोजन से भरे अर्धचालक ओवन में मजबूत सार्वभौमिकता, उच्च स्थिरता और उच्च प्रदर्शन है। यह उच्च क्षमता क्षैतिज वायु पुनर्चक्रण प्रणाली को अपनाता है,विशेष कक्ष संरचना और सीलिंग प्रौद्योगिकी को अपनाता है, सेमीकंडक्टर उत्पादों की उच्च प्रदर्शन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए उत्कृष्ट हवा की tightness और तापमान एकरूपता के साथ। यह ओवन सेमीकंडक्टर वेफर्स को मजबूत करने के लिए उपयुक्त है,आईसी पैकेज (तामा सब्सट्रेट), चांदी का जेल, सिलिका जेल, एपॉक्सी राल), कांच का सब्सट्रेट और अन्य उत्पाद।
मूल प्रौद्योगिकीः
01 उच्च प्रदर्शन तापमान एकरूपता प्राप्त करने के लिए उच्च क्षमता क्षैतिज हवा पुनर्चक्रण गर्म हवा प्रणाली
02 कक्ष पूरी तरह से सील डिजाइन है, स्टेनलेस स्टील प्लेट को अपनाता है, अच्छी हवा की tightness के साथ, नाइट्रोजन की बचत
03 उच्च शक्ति उच्च तापमान प्रतिरोधी लंबी अक्ष मोटर, और बड़े आकार के टरबाइन ब्लेड, जो लंबे समय तक उच्च तापमान वातावरण में स्थिर रूप से काम कर सकते हैं
04 हीटिंग दर को नियंत्रित किया जा सकता है, प्रक्रिया प्रोफ़ाइल सेटिंग के लिए एक कुंजी ऑपरेशन, शीतलन के लिए शीतलन प्रणाली के साथ, जो प्रभावी रूप से उत्पादन दक्षता में सुधार कर सकता है
05 उच्च परिशुद्धता तापमान नियंत्रक, पीआईडी समायोजन, नियंत्रण सटीकता 0.5°C तक पहुंच सकती है, विश्वसनीय नियंत्रण, सुरक्षित उपयोग
06 अर्धचालक धूल मुक्त कार्यशालाओं और उत्पादों की आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए कुशल स्वच्छ उपचार, हजार-ग्रेड स्वच्छ कक्ष उम्र बढ़ने का परीक्षण
07 कम ऑक्सीजन सामग्री नियंत्रण, वास्तविक समय की निगरानी, दो-चैनल विश्लेषण प्रणाली ऑक्सीजन सामग्री को 50PPM के भीतर नियंत्रित किया जा सकता है
उत्पाद की विशेषताएंः
अर्धचालक ओवन कक्ष संरचना
ऊपरी और निचले बक्से गर्म वायु परिसंचरण प्रणाली से लैस हैं, हवा की गति और मात्रा को समायोजित किया जा सकता है, और विभिन्न प्रक्रिया मापदंडों को स्वतंत्र रूप से संचालित किया जा सकता है।भट्ठी कक्ष उच्च गुणवत्ता वाले स्टेनलेस स्टील से बना हैस्थान के उपयोग में सुधार के लिए भट्ठी में स्तरित ब्रैकेट लगाए गए हैं।
अर्धचालक ओवन नाइट्रोजन प्रणाली
कैमरे के अंदर नाइट्रोजन भरना, स्वतंत्र समायोजन कार्य के साथ बहु प्रवाह मीटर से सुसज्जित, नाइट्रोजन का उचित उपयोग, संतुलित वितरण सुनिश्चित करने के लिए।बहु-चैनल ऑक्सीजन विश्लेषक के साथ, ऊपरी और निचले कक्षों में ऑक्सीजन सामग्री के मूल्य की वास्तविक समय की निगरानी को अलग से नियंत्रित किया जा सकता है, एक कक्ष की ऑक्सीजन सामग्री को 500PPM के भीतर नियंत्रित किया जा सकता है (विकल्पः100 पीपीएम के भीतर).
अर्धचालक ओवन शीतलन प्रणाली
जल शीतलन प्रणाली को अपनाया जाता है। पंख रेडिएटर ब्लास्ट वाटर कूलिंग, जब भट्ठी में तापमान ठंडा हो रहा है, तो ब्लोअर पंख रेडिएटर के माध्यम से तेजी से गर्मी का आदान-प्रदान करेगा,यह ठंडा होने का समय बहुत कम कर देता हैअद्वितीय शीतलन प्रणाली, उच्च तापमान पर तत्काल शीतलन भाप विस्तार से बचें, जो प्रभावी रूप से उत्पाद की गुणवत्ता की रक्षा करता है।
अर्धचालक ओवन सुरक्षा सुरक्षा प्रणाली
अधिक तापमान संरक्षण के साथ (स्टूडियो तापमान को रोकने के लिए बहुत अधिक है और उत्पाद की रक्षा), जब अधिक तापमान की स्थिति होती है, यह तुरंत बिजली काट देगा,साथ ही, कर्मचारियों को याद दिलाने के लिए एक अलार्म है, उत्पादों के लिए बेहतर सुरक्षा; अत्यधिक ऑक्सीजन सामग्री के नियंत्रण और सुरक्षा; नाइट्रोजन निम्न दबाव अलार्म सुरक्षा;ऊपरी और निचले बक्से इलेक्ट्रॉनिक सुरक्षा ताले से लैस हैं, और उपकरण में आपातकालीन स्टॉप स्विच है।
अर्धचालक ओवन स्पष्टता परीक्षण
परीक्षण के बाद, 0.5μm कणों की एकाग्रता ≤35200 है, जो उच्च-स्वच्छता हजार वर्ग स्वच्छ धूल मुक्त कार्यशाला की उत्पादन आवश्यकताओं को पूरा करती है।
अर्धचालक ओवन तापमान प्रोफाइल परीक्षण
उच्च परिशुद्धता तापमान नियंत्रक, पीआईडी विनियमन, उच्च क्षमता क्षैतिज वायु परिसंचरण गर्म हवा प्रणाली, जो उच्च प्रदर्शन तापमान एकरूपता प्राप्त कर सकते हैं।
उत्पाद पैरामीटरः
मॉडल संख्या | एसईओ-100एन |
बॉक्स का भाग | |
बॉक्स का आयाम | 700 ((L) * 550 ((W) * 600 * 2) ((H) मिमी |
बक्से की संख्या और कार्य मोड |
दो बक्से, प्रत्येक बॉक्स स्वतंत्र रूप से चल सकता है |
गर्म हवा प्रणाली | समायोज्य हवा की गति और मात्रा के साथ गर्म हवा परिसंचरण प्रणाली |
शीतलन प्रणाली | ग्राहक कार्यशाला शीतलन पानी के अनुसार पानी शीतलन परिसंचरण प्रणाली |
नाइट्रोजन प्रणाली | वास्तविक समय में ऑक्सीजन सामग्री प्रदर्शित करने के लिए प्रवाह मीटर और ऑक्सीजन विश्लेषक के साथ |
आंतरिक विनिर्देश | स्टेनलेस स्टील के समर्थन अलमारियों से लैस, अलमारियों के बीच समायोज्य दूरी के साथ |
नियंत्रण प्रणाली | |
तापमान संचालन सीमा | कमरे का तापमान+10°C~250°C |
तापमान नियंत्रण मोड | पीआईडी बंद-लूप नियंत्रण+एसएसआर ड्राइव |
नियंत्रण प्रणाली | पीसी+पीएलसी विद्युत नियंत्रण प्रणाली, विंडोज ऑपरेटिंग इंटरफ़ेस |
तापमान सटीकता | ±0.5°C |
तापमान एकरूपता | ±1.5%°C (बिना भार के) |
गर्म करने का समय | ≤15 मिनट ((200°C नो लोड) |
शीतलन दर | 2-5°C/मिनट |
हीटिंग पावर | 10KW*2 |
ऑक्सीजन सामग्री नियंत्रण | ≤500 पीपीएम (विकल्पः≤50 पीपीएम) |
कामकाजी वोल्टेज | AC3Ø 5W 380V 50/60HZ |
कुल शक्ति | 21 किलोवाट |
एमईएस संचार प्रोटोकॉल | मानक |
स्वच्छता वर्ग | वर्ग 1000 |
मशीन पैरामीटर | |
आयाम ((LxWxH) | 1700 ((L) * 1200 ((W) * 1800 ((H) मिमी |
वजन | 500-800 किलोग्राम |
रंग |
चमकदार झुर्रियों वाला सफेद |
सूचनाएं:
1गैस स्रोत की आवश्यकताएंः नाइट्रोजन कार्य दबाव (उपयोग के दौरान दबाव) > 0.5-0.8Mpa, नाइट्रोजन शुद्धता 99.999%.
2बिजली की आवश्यकताएं:
तीन चरण पांच तारः वोल्टेज 380V, आवृत्ति 50/60HZ;
2वायर व्यास 25mm2 से अधिक, रिसाव सुरक्षा स्विच 100A, रिसाव सुरक्षा स्विच रिसाव क्षमता 150-200mA।
3जमीन के दबाव की आवश्यकताः 1000 किलोग्राम/मी2.
4.बाहरी वेंटिलेशन आवश्यकताएंः 2-Ø38 मिमी बाहरी व्यास वाली वायु नलिका, वेंटिलेशन मात्रा 2*5M3/मिनट;
5पर्यावरणीय आवश्यकताएं: परिवेश तापमान 5-40°C और सापेक्ष आर्द्रता 20-95% के बीच होनी चाहिए।